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半導(dǎo)體類外觀檢測設(shè)備--------VMM影像測量檢測設(shè)備
設(shè)備介紹
本設(shè)備是一種由高解析度CCD彩色鏡頭、連續(xù)變倍物鏡、彩色顯示器、視頻十字線顯示器、精密光柵尺、多功能數(shù)據(jù)處理器、數(shù)據(jù)測量軟件與高精密工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成的高精度光學(xué)影像測量儀器。
應(yīng)用領(lǐng)域
可檢測小尺寸平面玻璃缺陷檢測、藍(lán)寶石缺陷檢測、金屬或塑料零件表面缺陷檢測和尺寸測量等，適用于汽車配件，連接器，電子電器行業(yè)，醫(yī)療器械，通信，LCD和航空航天等行業(yè)測量。
設(shè)備特點(diǎn)
1、移動(dòng)龍門結(jié)構(gòu)，測量工件固定不動(dòng)；
2、四軸CNC全自動(dòng)閉環(huán)控制，全自動(dòng)測量；
3、高精度大理石基座和橫梁，穩(wěn)定可靠；
4、高精密光柵尺，分辨率0.1微米，精度高，穩(wěn)定性好；
5、P級(jí)直線導(dǎo)軌、研磨級(jí)滾珠螺桿和伺服電機(jī)，確保機(jī)臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)定位精度的穩(wěn)定性；
6、高穩(wěn)定性高清彩色工業(yè)相機(jī)，滿足清晰觀察和穩(wěn)定測量的需求；
7、6.5X連續(xù)自動(dòng)變倍鏡頭，準(zhǔn)確自動(dòng)變倍，一次像素校正即可；
8、程控式5環(huán)8區(qū)LED表面光源、透射平行LED輪廓光源系統(tǒng)；
9、標(biāo)配天梭全自動(dòng)影像測量軟件，功能強(qiáng)大，簡單易用；
規(guī)格參數(shù)
X-Y-Z軸行程（mm）： 500-400-200mm
X/Y/Z3軸光柵尺（mm）： 開放式光柵尺，分辨率：0.0001mm
導(dǎo)向方式 ： 高精密直線導(dǎo)軌，雙軌雙滑塊導(dǎo)向
操作方式： 鼠標(biāo)操作，編程自動(dòng)檢測
測量精度 XY軸：≤2+L/200(μm)；Z軸：≤3+L/200(μm)
重復(fù)精度 ： 2μm
視頻系統(tǒng) ： 1/2"彩色CCD相機(jī)；6.5X自動(dòng)變倍鏡頭
光源 ： LED平行輪廓光源+5環(huán)8區(qū)0~255級(jí)連續(xù)可調(diào)
軟件系統(tǒng) ： 標(biāo)配天梭全自動(dòng)影像測量軟件
工作環(huán)境 ： 溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr,濕度30~80%,振動(dòng)<0.002g,低于15Hz
尺寸： 1400*1300*1800mm
重量 ： 1200KG
