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應力儀PSV-413 的適用范圍：
l 適合于檢測復雜構造的玻璃產品；
l 檢測高密度的塑料產品；
l 檢測光學晶體，如氟化鈣等；
l 其他利用偏光場進行的檢測，如SIC晶圓；
主要功能：
1. 觀測透明產品的內部殘余應力分布
2. 在量程范圍內，測量因應力產生的光程差
3. 觀測高透光率晶圓內瑕疵，如SIC晶圓
主要參數：
設備名稱：應力儀
型號：PSV-413
樣品檢測區域（偏光場）：200*200mm
目視鏡：直徑78mm
可檢晶圓尺寸：4寸，6寸
設備尺寸：291*384*388mm
重量：11KG
光源： 白色LED ，10W
