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商品名稱:薄膜厚度測量儀ST5030-SL 自動型(含PC)
 
 薄膜厚度測量儀ST5030-SL 自動型(含PC)
  商品編號: 2013181620
  商品規格:
  商品品牌: K-MAC
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產品規格

波長范圍 400~800nm
測量范圍 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
透鏡大小 M5x,M10x
測量光斑尺寸 40㎛,20㎛
測量層數

3

樣品臺尺寸 300mmX300mm

X,Y軸重現性,

±5㎛,

Z軸重現性

±4

可選部分

SRM(標準參考樣片)
光學透鏡 M50X(光斑尺寸:4㎛)

產品特征

快速測量&操作簡便
非接觸&非破壞性
良好的重復性和再現性
測量可達3層&測量精度良好
自動平臺控制&自動聚焦功能
具有2D/3D繪制圖與曲面輪廓

應用領域

半導體:Poly-Si,GaAs,GaN,InP,ZnS,SiGe...
介質材料:SiO2,Si3N4,TiO2,ITO,ZrO2,BTS,HfO2
Polymer:PVA,PET,PP,PR...
LCD:a-Si,n+a-Si,氧化物,ITO,屏間隙,光刻膠與酰亞胺薄膜,石英
Optical Coating:Hardness涂層,增透膜,Filters,Packing & Functional Film
Recordable 材料:光感導鼓,攝像頭,光盤...
其他:示波管上的光阻薄膜材料與掩膜板,薄金屬膜,激光鏡,ALQ3...
 
自動控制顏色測量系統 SCM6000
掃描電鏡EM-30
便攜式可見分光光度計Lab Junior
掃描電鏡EM-20
薄膜厚度測量儀ST5030-SL 自動型(含PC)
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