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商品名稱：薄膜厚度測(cè)量?jī)xST4000-DLX 手動(dòng)型
　
 薄膜厚度測(cè)量?jī)xST4000-DLX 手動(dòng)型
  商品編號(hào)： 2013181618
  商品規(guī)格：
  商品品牌： K-MAC
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VIP 價(jià)：
 
 

標(biāo)準(zhǔn)模式
工業(yè)規(guī)格
適合科研中心

產(chǎn)品規(guī)格

波長(zhǎng)范圍 400~800nm
測(cè)量范圍 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
透鏡大小 M5x,M10x
測(cè)量光斑尺寸 40㎛，20㎛
測(cè)量層數(shù)

3

樣品臺(tái)尺寸 200mmX200mm
X,Y,Z機(jī)制

輥式導(dǎo)板
移動(dòng)距離：200mmX200mm

手動(dòng)聚焦模塊 同軸粗微調(diào)焦控制
可選部分

SRM(標(biāo)準(zhǔn)參考樣片)
光學(xué)透鏡 M50X(光斑尺寸:4㎛)
CCD攝像頭
透射功能
平臺(tái)擴(kuò)至12"
防震臺(tái)

產(chǎn)品特征

快速測(cè)量&操作簡(jiǎn)便
非接觸&非破壞性
良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性
測(cè)量可達(dá)3層&測(cè)量精度良好
測(cè)量平臺(tái)尺寸加大
Z軸方向自動(dòng)型

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體:Poly-Si,GaAs,GaN,InP,ZnS,SiGe...
介質(zhì)材料:SiO2,Si3N4,TiO2,ITO,ZrO2,BTS,HfO2
Polymer:PVA,PET,PP,PR...
LCD:a-Si,n+a-Si,氧化物，ITO,屏間隙，光刻膠與酰亞胺薄膜，石英
Optical Coating:Hardness涂層，增透膜,Filters,Packing & Functional Film
Recordable 材料：光感導(dǎo)鼓，攝像頭，光盤...
其他：示波管上的光阻薄膜材料與掩膜板，薄金屬膜，激光鏡,ALQ3...
 
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