EPMA電子探針

電子探針介紹

     電子探針（EPMA）和掃描電子顯微鏡（SEM）是用來對固體樣品進行表面微區形貌觀察和成分分析的儀器，是研究地球與行星科學最基礎、使用最廣泛的原位微束分析技術，廣泛應用于礦物學、巖石學、地球化學、構造地質學、比較行星學、材料學、環境科學等生產、研究領域。

　  電子探針和掃描電鏡是利用聚焦電子束與固體樣品表面微區（微米至亞微米尺度）相互作用，產生二次電子、背散射電子、陰極熒光、特征X射線、連續X射線等信息，進行樣品表面形貌觀察和成分分析，從而了解樣品表面形貌、礦物成分、礦物結構、礦物相關系等。電子探針和掃描電鏡的功能有重合。其中電子探針側重樣品成分定量分析，主要通過能譜儀（EDS）或波譜儀（WDS）分析與樣品表面組成元素有關的特征X射線波長及其強度，與標準物質對比，確定樣品的元素組成及含量，其中掃描電鏡功能主要協助成分信息與樣品表面形貌信息匹配。掃描電鏡側重樣品表面形貌觀察，增加能譜儀（EDS）或波譜儀（WDS）可以進行一定的定性定量成分分析。

應用領域

（1）二次電子圖像觀察（SEI）

（2）背散射圖像觀察（BSE）

（3）陰極發光圖像觀察（CL）

（4）常見造巖礦物（包括氧化物、硫化物、硅酸鹽、磷酸鹽、硫酸鹽、碳酸鹽等礦物）主量元素含量分析

（5）硅酸鹽玻璃主要元素含量分析

（6）揮發組分（如F、Cl等）含量分析

（7）稀土礦物成分分析

（8）造巖礦物中主要元素的面掃描分析，如橄欖石中Mg、Fe、Ni等元素

（9）特定礦物中重要微量元素面掃描分析，如橄欖石中P等。

電子探針下特點

（1）樣品制備簡單

（2）無損

（3）原位微區分析，分析區域直徑可以小于1 μm

（4）分析元素范圍廣，可以測試Be – U之間的元素

（5）除了單點定量分析外，可以進行定性或定量的線掃描和面掃描分析

（6）應用范圍廣，可測試各類固態樣品

（7）分析快捷且成本較低。

現行標準

結果示例