前言

由客戶提供貼片式LED燈珠（已化學(xué)剝膠），用掃描電子顯微鏡（以下簡稱SEM）進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)的觀察與測(cè)量，以判斷其功能結(jié)構(gòu)有無異常。

參考標(biāo)準(zhǔn)

JY/T 010-1996   分析型掃描電子顯微鏡方法通則

GB/T 16594-2008    微米級(jí)長度的掃描電鏡測(cè)量方法通則

樣品處理：將貼片LED放入磁控離子濺射儀，進(jìn)行鍍導(dǎo)電膜處理。

測(cè)試過程：

根據(jù)觀察位置調(diào)整馬達(dá)臺(tái)傾斜和水平旋轉(zhuǎn)的角度，調(diào)整傾斜角度時(shí)必須嚴(yán)格控制樣品臺(tái)和極靴之間的距離，以避免損傷電鏡。根據(jù)實(shí)際情況選取適當(dāng)?shù)姆糯蟊稊?shù)，調(diào)整圖像至清晰，無明顯干擾橫紋。需測(cè)量的目標(biāo)，在圖片整體中應(yīng)清晰可見，掃描保存后，再打開系統(tǒng)附帶的精準(zhǔn)長度測(cè)量軟件進(jìn)行測(cè)量。


效果圖